激光位移傳感器常用于長(cháng)度、距離、振動(dòng)、速度、方位等物理量的測量,還可用于探傷和大氣污染物的監測等。通過(guò)測量金屬薄片(薄板)的厚度變化,可以幫助發(fā)現皺紋、小洞或者重疊,避免機器發(fā)生故障。
對激光位移傳感器而言,激光三角測量法適用于高精度、短距離的測量,激光回波分析法則用于遠距離測量。在當前的工業(yè)機器人應用中,通常采用三角測量法,這種方法的線(xiàn)性度可高達1um,分辨率可達到0.1um的水平。
激光三角法是一種由角度計算得到單點(diǎn)或多維的距離測量。通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測物體表面,經(jīng)物體反射的激光通過(guò)接收器鏡頭,被內部的CCD線(xiàn)性相機接收,根據不同的距離,CCD線(xiàn)性相機可以在不同的角度下“看見(jiàn)”這個(gè)光點(diǎn)。根據這個(gè)角度及已知的激光和相機之間的距離,數字信號處理器就能計算出傳感器和被測物體之間的距離。
激光位移傳感技術(shù)特點(diǎn):
1、非接觸式檢測,非接觸式可確保傳感器更長(cháng)的使用壽命,并且不會(huì )損壞物體。
2、響應時(shí)間短,集成的激光束和完整的電子電路結構,使傳感器能夠快速響應,可以輕松地在高速生產(chǎn)線(xiàn)上使用。
3、高精度檢測,先進(jìn)的光學(xué)系統和電子電路技術(shù)已實(shí)現高達0.02μm的傳感精度。
4、超小體積,結構緊湊,使得體積盡可能的小,不占空間,更易于集成使用。
在未來(lái),以激光位移傳感器為代表的的各類(lèi)激光傳感器需求總體將保持快速增長(cháng)的態(tài)勢,而隨著(zhù)國內各項鼓勵政策的落實(shí),激光技術(shù)的持續創(chuàng )新進(jìn)步和激光傳感產(chǎn)品性能的不斷提升,激光傳感器的大規模商業(yè)化應用將很快成為現實(shí)。